วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค

Abstract

การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้ การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้